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電子顯微鏡的結構圖
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長恒榮創

時間 : 2024-08-07 11:51 瀏覽量 : 230

電子顯微鏡(EM)是一種高分辨率的顯微鏡,能夠以電子束而不是光束來觀察樣品的細微結構。

電子顯微鏡的基本結構包括以下幾個主要部分:
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電子源: 電子顯微鏡的核心是電子源,通常采用熱陰極或場發射電子槍。這個部分產生高能電子束,用于照射樣品。

電子透鏡系統: 電子束通過一系列電子透鏡,包括凸透鏡、偏轉透鏡和物鏡透鏡。這些透鏡系統用于控制和聚焦電子束,使其能夠在樣品上產生高分辨率的投影。

樣品臺: 樣品臺是樣品的支撐平臺,通常具有多個軸向的微動裝置,用于控制樣品在不同方向上的移動和旋轉,以便觀察不同部位。

檢測系統: 電子顯微鏡通常配備了多種檢測器,包括透射電子檢測器(Transmission Electron Detector)和掃描電子檢測器(Scanning Electron Detector)。這些檢測器捕捉經過樣品后的電子束,產生顯微圖像。

顯微鏡柱: 這是一個支撐和封裝上述組件的結構,它通常包括各種透鏡和電磁設備,用于控制電子束的路徑和聚焦。

計算機控制系統: 電子顯微鏡通常配備了計算機控制系統,用于控制儀器操作、數據采集和圖像處理。

真空系統: 電子顯微鏡必須在真空環境中運行,以防止電子束與氣體分子相互作用,影響圖像質量。真空系統包括真空泵和密封結構。

輔助設備: 這包括樣品制備設備,如切片機、薄膜制備設備、冷凍裝置等,用于準備樣品以供電子顯微鏡觀察。

控制面板: 電子顯微鏡上配備了控制面板,供操作員控制儀器的各個參數,如電子束強度、聚焦、對比度等。

電子顯微鏡的工作原理是利用電子波的波動性質,其波長遠遠小于可見光的波長,因此具有極高的分辨率。這使得電子顯微鏡能夠觀察到比光學顯微鏡更小的細節,例如原子和分子的結構。

總之,電子顯微鏡是一種高級的顯微鏡技術,具有出色的分辨率和成像能力,廣泛用于各種科學領域,包括材料科學、生物學、納米技術和化學等,以研究和觀察微觀世界中的結構和現象。

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